氦離子化氣相色譜儀的切割柱和分析柱為GDX502。樣品經定量閥進樣后，將進入氦離子檢測器，色譜柱分離，出現亞穩狀態下的非彈性碰撞，用氦氣，輸出電流從探測器收集相應的mirco。電流信號經微電流放大器放大比例在一定范圍內的成分含量。在相同條件下，色譜峰應與標準樣品比較，以確定保留時間和數量由信號質量。
高純氣體的分析是一個復雜的過程，不僅需要高靈敏的檢測器，還要考慮樣品本身的特性及其背景，如吸附、取樣及分析過程中是否有空氣混入、系統的密閉性、系統的死體積等環節，魯創色譜公司總結了高純氣體分析過程中的技術難點，并給出了所有難點的解決措施，使氦離子化氣相色譜儀成為國內專業的高純氣體分析系統，很好的完成了氣體中微量雜質，高級別可以達到ppb級的雜質分析。
氦離子化氣相色譜儀系統壓力異常時該如何解決？
故障一：系統壓力升高
一般來說，在硅烷分析使用之前，需要將高壓極限壓力設定好，一般范圍為15MP左右。為了防止色譜儀由于高壓出現問題，系統在升至高壓極*會自動關閉，當壓力超過正常壓力的30%時，則可以認定壓力不正常。壓力的升高與以下因素有關：
1、當有機溶劑與水混合時，由于溶液的黏度，密度變化壓力亦會升高；
2、某段管子堵塞造成系統壓力突然升高。逐段檢查，更換；
3、當流速超過正常壓力0.7mL/min時，壓力也會升高。
故障二：保留時間的延長或縮短
保留時間的變化會直接影響到待測組分的定性和定量，影響離子色譜保留時間穩定的因素有：
1、氦離子化氣相色譜儀又不見在使用時街頭沒有擰緊，存在漏液現象；
2、系統內有氣泡使得泵不能按設定的流速傳送淋洗液；
3、使用的碳酸氫鈉和碳酸鈉的淋洗液放置時間過長。
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